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荧光X线膜厚计测定条件表

      
荧光X线膜厚计测定条件表
測定物組合
測量條件
可測量範圍
鍍層
底材
濾波器
能量範圍
Cr
Fe
44 53
0.02 20 um
Ni
44 58
Cu, Zn, BRS
44 65
Ni
 
(Ni-P)
Fe
74 89
0.02 30 um
Cu
Co
62 89
BRS
Co
62 77
Cu
Fe
74 96
0.02 30 um
Zn, BRS
Ni
67 96
Zn
Fe
74 103
0.02 45 um
Ag
Fe, Ni, Cu, BRS
189 260
0.02 50 um
Sn
Fe, Ni, Cu, BRS
217 285
0.02 90 um
Au
Ni
92 136
0.02 8.0 um
Cu
102 136
Sn-Pb
(合金)
Cu
    Sn 217 285
    Pb   98 150
Pb:10W% 0.150um
(會因合金比不同而有改變)
Cr/Ni
Fe
Cr 44 53
Ni 74 89
 
Cr 0.01 5.0um
Ni   0.1 15um
 
Cu
Cr:
Ni: Co
Cr 44 58
Ni 62 89
Ni/Cu
Fe
Ni: Co
Cu:
Ni 74 89
Cu 80 96
Ni 0.02 10um
Cu   0.1 20um
Ag/Ni
Cu
Ag:
Ni: Co
   Ag 189 260
Ni 62 89
Ag 0.02 5.0um
Ni   0.1 20um
Sn/Cu
Fe
    Sn 217 285
 Cu 74 ~  96
Sn 0.05 4.0um
Cu   0.1 20um
Au/Ni
Cu
Au:
Ni: Co
    Au 102 136
 Ni 62 89
Au 0.01 2.0um
Ni   0.1 20um
BRS
Au:
Ni: Co
    Au 106 136
 Ni 62 77
Ni/Cu
Zn
Ni: Co
Cu: Ni
 Ni  62 89
 Cu  67 96
Ni 0.02 10um
Cu   0.1 20um
Sn/Ni
Cu
Sn:
Ni: Co
  Sn 217 285
 Ni  74 89
Sn 0.05 4um
 Ni   0.1 20um
 
Sn/Cu
 
BRS
 
Cu: Ni
      Sn 217~265
      Cu 73~82
Sn 0.05 10um
     Cu 0.1~5 um
Cr/Ni/Cu
Abs
      Cr 44 58
      Ni 62 89
       Cu  6796
Cr 0.01 5.0um
Ni   0.1 15um
    Cu   0.1 15 um
Fe
      Cr 44 58
      Ni 62 89
      Cu 80 96
Cr 0.01 5.0um
Ni   0.1 15um
    Cu   0.1 20 um
 
 

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